我们可提供大量的增值技术，以帮助应对您所面临的具体成本和环境挑战。

 





现场制氟

我们优先利用分子氟(F₂)取代具有导致气温变暖潜势的气体，如三氟化氮(NF₃)和六氟化硫(SF₆Generation-F^®现场氟发生器可提供有效的清洗气体，减少超过50％的清洗时间和停机时间，提高高达10％的生产线产量。


制氮

我们的SPECTRA-N™制氮设备 ，是TFT - LCD制造商在大量生产需求时较具成本效益的、提供超纯氮气的可靠途径。低于1ppb气体杂质水平，SPECTRA-N比传统制氮机的电耗低，但同时又具有较好的不满载能力，以满足产能爬升的要求。

 
全系产品

我们提供的气体和化学品品种齐全，支持所有的TFT - LCD平板制造工艺:

• 超纯大宗气体

• 现场气体发生器

• 气瓶和批量供应的电子特种气体

• 特殊和湿法工艺化学品。

TFT - LCD平板制造材料cture

大宗气体	电子专用气体
氮	硅烷
氢	三氟化氮
氦	氟气(现场生产)
氧气	六氟化硫
氩	氨气
	二氧化碳
	磷化氢混合物

具体的要求将取决于工艺和制造地区。


系统和专业服务

我们还提供范围广泛的专业服务，让您专注于核心业务、保持业务正常运行。包括从交钥匙工程设计和安装服务到终端的气体系统管理，其中包括:

• 大宗气体储存和分配系统

• 大宗特殊气体系统(BSGS) 

• 气体箱和配气管

• 全面气体及化学品管理。